아르곤 불화물 엑시머 레이저 가스 소개

   아르곤 플루오라이드(ArF)는 심자외선 엑시머 레이저에 널리 사용되는 엑시머 가스 혼합물입니다. '엑시머'라는 용어는 비활성 기체와 반응성 할로겐 성분 사이에 일시적으로 형성되는 들뜬 이합체 상태를 의미합니다. 주요 특성은 다음과 같습니다.

• 구성 – 일반적으로 0.1%의 F2와 99.9%의 아르곤을 완충 가스로 구성합니다.

• 반응 – 전기 방전은 아르곤 원자를 여기시켜 불소 분자와 반응하게 합니다.

• 흥분 상태 –아르프* 엑시머 상태는 빠르게 붕괴되어 Ar과 F 원자를 분리합니다.

• 파장 – 이 이완 과정에서 193nm 파장의 광자가 방출됩니다.

• 펄스 출력 – 엑시머 레이저는 높은 피크 출력을 가진 펄스형 자외선 빔을 생성합니다.

아르곤과 불소의 독특한 반응은 미세 가공 및 포토리소그래피에 이상적인 짧은 파장의 고에너지 레이저 펄스를 생성합니다.