fluorure d'argonL'ArF est un mélange gazeux excimère largement utilisé dans les lasers excimères à ultraviolets profonds. Le terme « excimère » désigne l'état dimère excité qui se forme temporairement entre un gaz rare inerte et un halogène réactif. Quelques propriétés clés :
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Composition – Contient généralement 0,1 % de F2 et 99,9 % d'argon, le reste étant un gaz tampon.
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Réaction – La décharge électrique excite les atomes d'argon qui réagissent avec les molécules de fluor.
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État excité – LeArF* L'état excimère se décompose rapidement pour séparer les atomes d'Ar et de F.
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Longueur d'onde – Ce processus de relaxation émet des photons d'une longueur d'onde de 193 nm.
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Sortie pulsée – Les lasers excimères produisent des faisceaux UV pulsés à haute puissance de crête.
La réaction unique entre l'argon et le fluor permet d'obtenir des impulsions laser de courte longueur d'onde et de haute énergie, idéales pour la micro-usinage et la photolithographie.
Date de publication : 2 novembre 2023