مقدمة عن غاز ليزر الإكسيمر فلوريد الأرجون

   فلوريد الأرجونيُعدّ (ArF) مزيجًا من غازات الإكسيمر، ويُستخدم على نطاق واسع في ليزرات الإكسيمر ذات الأشعة فوق البنفسجية العميقة. ويشير مصطلح "الإكسيمر" إلى حالة الدايمر المُثارة التي تتشكل مؤقتًا بين غاز نبيل خامل ومكون هالوجيني نشط. بعض الخصائص الرئيسية:

• التركيب - يحتوي عادةً على 0.1% من الفلور و99.9% من الأرجون متوازنة بواسطة غاز عازل.

• التفاعل – يؤدي التفريغ الكهربائي إلى إثارة ذرات الأرجون التي تتفاعل مع جزيئات الفلور.

• حالة الإثارةArF* تتحلل حالة الإكسيمر بسرعة إلى ذرات منفصلة من الأرجون والفلور.

• الطول الموجي - تنبعث من عملية الاسترخاء هذه فوتونات بطول موجي 193 نانومتر.

• خرج نبضي - تنتج ليزرات الإكسيمر حزمًا نبضية من الأشعة فوق البنفسجية ذات طاقة ذروة عالية.

إن التفاعل الفريد بين الأرجون والفلور يسهل نبضات الليزر عالية الطاقة ذات الطول الموجي القصير، وهي مثالية للتصنيع الدقيق والطباعة الضوئية.