Argon florua(ArF) là hỗn hợp khí excimer được sử dụng rộng rãi trong các laser excimer tia cực tím sâu. Thuật ngữ 'excimer' đề cập đến trạng thái dimer kích thích được hình thành tạm thời giữa một khí trơ quý hiếm và một thành phần halogen phản ứng. Một số đặc tính chính:
-
Thành phần – Thông thường chứa 0,1% F2 và 99,9% argon, được cân bằng bởi một loại khí đệm.
-
Phản ứng – Sự phóng điện kích thích các nguyên tử argon, chúng phản ứng với các phân tử flo.
-
Trạng thái phấn khích – CáiArF* Trạng thái excimer nhanh chóng phân rã thành các nguyên tử Ar và F riêng biệt.
-
Bước sóng – Quá trình thư giãn này phát ra các photon có bước sóng 193 nm.
-
Phát xung – Laser excimer tạo ra chùm tia UV xung với công suất đỉnh cao.
Phản ứng độc đáo giữa argon và flo tạo điều kiện thuận lợi cho việc tạo ra các xung laser năng lượng cao có bước sóng ngắn, lý tưởng cho gia công vi mô và quang khắc.
Thời gian đăng bài: 02/11/2023