مقدمه‌ای بر گاز لیزر اگزایمر آرگون فلوراید

   آرگون فلوراید(ArF) یک مخلوط گاز اگزایمر است که به طور گسترده در لیزرهای اگزایمر فرابنفش عمیق استفاده می‌شود. اصطلاح «اگزایمر» به حالت دیمر برانگیخته شده‌ای اشاره دارد که به طور موقت بین یک گاز نجیب بی‌اثر و یک جزء هالوژن واکنش‌پذیر تشکیل می‌شود. برخی از خواص کلیدی:

• ترکیب - معمولاً حاوی 0.1٪ F2 و 99.9٪ آرگون است که توسط یک گاز بافر متعادل شده است.

• واکنش - تخلیه الکتریکی اتم‌های آرگون را برانگیخته می‌کند که با مولکول‌های فلوئور واکنش می‌دهند.

• حالت برانگیخته -آر اف* حالت اگزایمر به سرعت واپاشی می‌کند و اتم‌های Ar و F را از هم جدا می‌کند.

• طول موج - این فرآیند آرامش، فوتون‌هایی با طول موج ۱۹۳ نانومتر منتشر می‌کند.

• خروجی پالسی - لیزرهای اگزایمر پرتوهای فرابنفش پالسی با توان پیک بالا تولید می‌کنند.

واکنش منحصر به فرد آرگون و فلوئور، پالس‌های لیزر با طول موج کوتاه و انرژی بالا را که برای میکروماشین‌کاری و فوتولیتوگرافی ایده‌آل هستند، تسهیل می‌کند.