گاز تترافلوئورید کربن CF4 R14

تترافلوئورید کربن (CF4) گازی بی‌رنگ و بی‌بو است که عمدتاً در صنعت نیمه‌رساناها به عنوان عامل حکاکی استفاده می‌شود. این گاز از یک اتم کربن و چهار اتم فلوئور تشکیل شده و وزن مولکولی آن ۸۸.۰۰۴ گرم بر مول است. CF4 غیر قابل اشتعال، غیر سمی و از نظر شیمیایی بی‌اثر است و آن را به انتخابی مطلوب برای کاربردهای صنعتی تبدیل می‌کند. همچنین در تولید مبردها و به عنوان گاز دی‌الکتریک در تجهیزات الکتریکی ولتاژ بالا استفاده می‌شود. با این حال، CF4 یک گاز گلخانه‌ای قوی است که پتانسیل گرمایش جهانی آن ۷۰۰۰ برابر بیشتر از دی‌اکسید کربن است. به همین دلیل، استفاده و انتشار آن تحت توافق‌نامه‌های بین‌المللی زیست‌محیطی با هدف کاهش انتشار گازهای گلخانه‌ای و کاهش تغییرات اقلیمی تنظیم می‌شود.