Khí cacbon tetrafluoride CF4 R14

Carbon tetrafluoride (CF4) là một loại khí không màu, không mùi, chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn như một chất ăn mòn. Nó bao gồm một nguyên tử carbon và bốn nguyên tử flo, có khối lượng phân tử là 88,004 g/mol. CF4 không dễ cháy, không độc hại và trơ về mặt hóa học, do đó là một lựa chọn lý tưởng cho các ứng dụng công nghiệp. Nó cũng được sử dụng trong sản xuất chất làm lạnh và làm khí điện môi trong thiết bị điện cao áp. Tuy nhiên, CF4 là một khí nhà kính mạnh, với tiềm năng làm ấm toàn cầu lớn hơn 7.000 lần so với carbon dioxide. Do đó, việc sử dụng và phát thải của nó được quy định theo các thỏa thuận môi trường quốc tế nhằm giảm phát thải khí nhà kính và giảm thiểu biến đổi khí hậu.