fluoruro de argónEl (ArF) es una mezcla de gases excímeros ampliamente utilizada en láseres excímeros ultravioleta profundo. El término «excímero» se refiere al estado dímero excitado que se forma temporalmente entre un gas noble inerte y un componente halógeno reactivo. Algunas propiedades clave:
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Composición: Normalmente contiene un 0,1 % de F2 y un 99,9 % de argón, equilibrado con un gas de amortiguación.
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Reacción: La descarga eléctrica excita los átomos de argón, que reaccionan con las moléculas de flúor.
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Estado excitado – ElArF* El estado excímero se desintegra rápidamente para separar los átomos de Ar y F.
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Longitud de onda: este proceso de relajación emite fotones con una longitud de onda de 193 nm.
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Salida pulsada: los láseres de excímeros producen haces UV pulsados con alta potencia pico.
La reacción única del argón y el flúor facilita la generación de pulsos láser de alta energía y longitud de onda corta, ideales para el micromecanizado y la fotolitografía.
Fecha de publicación: 2 de noviembre de 2023