Фторид аргонаArF (ArF) — это смесь эксимерных газов, широко используемая в эксимерных лазерах глубокого ультрафиолетового диапазона. Термин «эксимер» относится к возбужденному димерному состоянию, временно образующемуся между инертным благородным газом и реакционноспособным галогенным компонентом. Некоторые ключевые свойства:
-
Состав – обычно содержит 0,1% F2 и 99,9% аргона, остальное – буферный газ.
-
Реакция – Электрический разряд возбуждает атомы аргона, которые реагируют с молекулами фтора.
-
Возбужденное состояние –АрФ* Эксимерное состояние быстро распадается, разделяя атомы Ar и F.
-
Длина волны – В результате этого релаксационного процесса испускаются фотоны с длиной волны 193 нм.
-
Импульсный выход – эксимерные лазеры генерируют импульсные УФ-лучи с высокой пиковой мощностью.
Уникальная реакция аргона и фтора способствует генерации коротковолновых высокоэнергетических лазерных импульсов, идеально подходящих для микрообработки и фотолитографии.
Дата публикации: 02.11.2023