Изотоп BF3-11, трихлорид бора, изотоп 11, газ

Трихлорид бора-11 (B11Cl3) представляет собой бесцветный дымящийся газ при комнатной температуре и давлении, горючий, раздражающий, с кислым запахом. При контакте с водой разлагается на хлористый водород и борную кислоту, выделяя большое количество тепла. При гидролизе во влажном воздухе выделяет пары, а в спирте разлагается на соляную кислоту и боратный эфир. Трихлорид бора-11 обладает высокой реакционной способностью, может образовывать различные координационные соединения, в том числе при нагревании и в реакциях со стеклом, керамикой, а также в реакциях со многими органическими веществами, образуя различные органические соединения бора. Высокочистый трихлорид бора-11 в основном используется в процессе диффузионного легирования (кремниевых) полупроводниковых приборов. При высоких температурах после разложения примесей бора, образующихся при диффузии кремния, происходит образование полупроводников P-типа, но также может использоваться для сухого травления таких материалов, как Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi и других.