BF3-11 isótopo Tricloreto de boro 11 isótopo Gás

O tricloreto de boro (B11Cl3) é um gás incolor, fumegante à temperatura e pressão ambiente, combustível, irritante, com odor ácido. Decompõe-se em cloreto de hidrogênio e ácido bórico quando em contato com água, liberando grande quantidade de calor. Gera vapores devido à hidrólise em ar úmido e decompõe-se em ácido clorídrico e éster borato em álcool. O tricloreto de boro possui forte reatividade, podendo formar diversos compostos de coordenação. Ao ser aquecido, reage com vidro e cerâmica, além de reagir com muitas matérias orgânicas para formar diversos compostos orgânicos de boro. O tricloreto de boro de alta pureza 11 é usado principalmente no processo de fabricação de dispositivos semicondutores (de silício) por dopagem por difusão, em altas temperaturas, após a decomposição das impurezas de boro geradas pela difusão do silício, formando semicondutores do tipo P, mas também pode ser usado para Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi e outros materiais, como na gravação a seco.