BF3-11-Isotop Bortrichlorid-11-Isotop Gas

Bortrichlorid (B11Cl3) ist bei Raumtemperatur und -druck ein farbloses, rauchendes Gas mit reizendem, säuerlichem Geruch. Es zersetzt sich in Wasser unter starker Wärmeentwicklung in Chlorwasserstoff und Borsäure und bildet in feuchter Luft durch Hydrolyse Dämpfe. In Alkohol zersetzt es sich in Salzsäure und Boratester. Bortrichlorid ist sehr reaktiv und bildet verschiedene Koordinationsverbindungen. Es reagiert mit Glas und Keramik sowie mit vielen organischen Stoffen zu einer Vielzahl organischer Borverbindungen. Hochreines Bortrichlorid 11 wird hauptsächlich für den Diffusionsdotierungsprozess von (Silizium-)Halbleiterbauelementen bei hohen Temperaturen verwendet. Nach der Zersetzung der durch die Diffusion von Silizium entstehenden Borverunreinigungen kommt es zur Bildung von P-Halbleitern. Es kann aber auch für Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi und andere Materialien wie z. B. für Trockenätzverfahren eingesetzt werden.