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  • Stickstofftrifluorid NF3-Gas
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Stickstofftrifluorid NF3-Gas

Verfahren :

Stickstofftrifluorid ist eine anorganische Verbindung mit der Formel NF₃. Diese Stickstoff-Fluor-Verbindung ist ein farbloses, geruchloses und nicht brennbares Gas. Es findet zunehmend Verwendung als Ätzmittel in der Mikroelektronik. Stickstofftrifluorid (NF₃) wird in der Elektronik-, Halbleiter- und Solarindustrie etc. weit verbreitet eingesetzt. Es ist ein gutes Ätz- und Reinigungsgas mit den Vorteilen, dass es keine Rückstände hinterlässt, eine hohe Reinigungsgeschwindigkeit aufweist und leicht zersetzbar ist.

Überblick

Verpackung & Versand

Produktdetails

Ähnliche Produkte

Produktparameter

Produktname:

Stickstofftrifluorid

CAS:

7783-54-2

MF:

F3N

MW:

71

EINECS:

232-007-1

Produktkategorien:

Anorganische Stoffe; Anorganische Fluoride

Mol-Datei:

7783-54-2.mol

Produktname:

Stickstofftrifluorid

Produktspezifikation

Produkt NF3
Verpackungsgröße 40-Liter-Zylinder
Füllinhalt/Zylinder 20 kg
In einen 20-Fuß-Container verladene Menge 240 Zylinder
Gesamtvolumen 4,8 Tonnen
Zylinder-Taragewicht 50 kg
Ventil CGA 640

Anwendungsprogramm

Stickstofftrifluorid (NF3) ist ein farb- und geruchloses Gas mit vielfältigen industriellen Anwendungen. Es wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie als Reinigungsmittel für Beschichtungsanlagen und Ätzkammern eingesetzt. Auch bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen und anderen Elektronikbauteilen findet es Verwendung. NF3 ist jedoch ein starkes Treibhausgas mit hohem Treibhauspotenzial und kann daher, wenn es in die Atmosphäre gelangt, erheblich zum Klimawandel beitragen. Aus diesem Grund werden Anstrengungen unternommen, seinen Einsatz zu reduzieren und alternative, umweltfreundlichere Substanzen für diese Anwendungen zu finden.
Stickstofftrifluorid wird in der Elektronikindustrie als Ätzmittel für Halbleiterbauelemente verwendet.

Stickstofftrifluorid wird in der Elektronikindustrie als Ätzmittel für Halbleiterbauelemente verwendet.

Stickstofftrifluorid kann zur Sterilisation verwendet werden.

Stickstofftrifluorid kann zur Sterilisation verwendet werden.

Stickstofftrifluorid kann bei der Herstellung elektronischer Bauelemente im Dampfabscheidungsverfahren (CVD) verwendet werden.

Stickstofftrifluorid kann bei der Herstellung elektronischer Bauelemente im Dampfabscheidungsverfahren (CVD) verwendet werden.

Stickstofftrifluorid ist ein starkes Oxidationsmittel.

Stickstofftrifluorid ist ein starkes Oxidationsmittel.

Stickstofftrifluorid kann als Zwischenprodukt für organische Syntheseverbindungen verwendet werden.

Stickstofftrifluorid kann als Zwischenprodukt für organische Syntheseverbindungen verwendet werden.

Stickstofftrifluorid kann zur Herstellung von Beschichtungsmaterialien verwendet werden.

Stickstofftrifluorid kann zur Herstellung von Beschichtungsmaterialien verwendet werden.

Verpackung & Versand

Produkt

NF3

Verpackungsgröße

40-Liter-Zylinder

Füllinhalt/Zylinder

20 kg

In einen 20-Fuß-Container verladene Menge

240 Zylinder

Gesamtvolumen

4,8 Tonnen

Zylinder-Taragewicht

50 kg

Ventil

CGA 640

Vorteile

Produktdetails

Stickstofftrifluorid NF3-Gas

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