Gas trifluoruro di azoto NF3

Il trifluoruro di azoto, o NF3, è un gas incolore e inodore che trova diverse applicazioni industriali. Viene utilizzato principalmente nell'industria dei semiconduttori come agente pulente per gli strumenti di deposizione e le camere di incisione. È impiegato anche nella produzione di schermi piatti, pannelli solari e altri dispositivi elettronici. Tuttavia, l'NF3 è un potente gas serra con un elevato potenziale di riscaldamento globale, il che significa che può contribuire in modo significativo al cambiamento climatico se rilasciato nell'atmosfera. Pertanto, si stanno compiendo sforzi per ridurne l'utilizzo e trovare sostanze alternative più ecocompatibili per queste applicazioni.