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  • 삼불화질소(NF3) 가스
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삼불화질소(NF3) 가스

프로세스 :

삼불화질소(NF₃)는 화학식 NF₃를 갖는 무기 화합물입니다. 이 질소-불소 화합물은 무색, 무취, 불연성 기체이며, 마이크로 전자 분야에서 에칭제로 사용량이 증가하고 있습니다. 삼불화질소(NF₃)는 전자 산업, 반도체 및 태양광 발전 산업 등에서 널리 사용되고 있으며, 잔류물이 남지 않고 세척 속도가 빠르며 분해가 용이한 장점을 가진 우수한 에칭 및 세척 가스입니다.

개요

포장 및 배송

제품 상세 정보

관련 상품

제품 매개변수

제품명:

삼불화질소

CAS:

7783-54-2

MF:

F3N

MW:

71

EINECS:

232-007-1

제품 카테고리:

무기물; 무기 불화물

몰 파일:

7783-54-2.mol

제품명:

삼불화질소

제품 사양

제품 NF3
패키지 크기 40리터 실린더
실린더당 충전량 20kg
20피트 컨테이너에 적재된 수량 240기통
총량 4.8톤
실린더 공차 중량 50kg
판막 CGA 640

지원 프로그램

삼불화질소(NF₃)는 무색 무취의 기체로 다양한 산업 분야에 사용됩니다. 주로 반도체 산업에서 증착 장비 및 에칭 챔버의 세척제로 사용되며, 평면 디스플레이, 태양광 패널 및 기타 전자 제품 생산에도 사용됩니다. 그러나 NF₃는 지구 온난화 지수가 높은 강력한 온실가스로, 대기 중으로 방출될 경우 기후 변화에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 NF₃의 사용량을 줄이고 이러한 용도에 사용할 수 있는 보다 환경 친화적인 대체 물질을 찾기 위한 노력이 활발히 진행되고 있습니다.
삼불화질소는 전자 산업에서 반도체 소자용 에칭제로 사용됩니다.

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삼불화질소는 살균에 사용할 수 있습니다.

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삼불화질소는 화학 기상 증착(CVD) 공정을 이용한 전자 기기 제조에 사용될 수 있다.

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삼불화질소는 강력한 산화제입니다.

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삼불화질소는 유기 합성 화합물의 중간체로 사용될 수 있다.

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삼불화질소는 코팅 재료 제조에 사용될 수 있다.

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포장 및 배송

제품

NF3

패키지 크기

40리터 실린더

실린더당 충전량

20kg

20피트 컨테이너에 적재된 수량

240기통

총량

4.8톤

실린더 공차 중량

50kg

판막

CGA 640

장점

제품 상세 정보

삼불화질소(NF3) 가스

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