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삼염화붕소 BCL3 가스

프로세스 :

삼염화붕소(BCl₃)는 무색의 발연성 액체 또는 기체입니다. 불연성이며 자극적이고 산성 냄새가 납니다. 삼염화붕소(BCl₃)는 증기압이 낮은 기체입니다. 이 분자는 반도체 및 LCD 제조에서 알루미늄 배선의 건조 에칭 가스로 사용되는 등 다양한 용도로 활용됩니다. 삼염화붕소는 액화 가스로, 물에서 염화수소와 붕산으로 분해됩니다. 고유전율(high-K) 및 금속 이방성 플라즈마 에칭, 원자층 에칭, 펄스 플라즈마 에칭의 주요 가스 성분입니다. 또한 액정 패널 제조 공정에서 알루미늄 회로의 정밀 에칭에도 주로 사용됩니다.

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개요

포장 및 배송

제품 상세 정보

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제품 매개변수

제품	삼염화붕소
CAS 번호	10294-34-5
유엔 번호	1741
EINECS 번호	233-658-4
분자량	117.19
모습	자극적이고 신맛이 나는 무색의 연기가 나는 액체 또는 기체
녹는점	-107.3℃
비등점	12.5℃
밀도	1.35 kg/m³
DOT 클래스	2.3 & 8
상표	유독가스, 부식성 물질

제품 사양

제품	삼염화붕소 BCl3
패키지 크기	47리터 실린더
실린더당 충전량	50kg
20피트 컨테이너에 적재된 수량	240기통
총 용량	12톤
실린더 공차 중량	55kg
판막	DISS-634/CGA 660

지원 프로그램

삼염화붕소(BCl₃)는 다양한 산업 공정에 사용되는 다재다능한 화합물입니다. 특히 플라스틱 및 수지 생산을 비롯한 유기 합성 반응에서 촉매로 널리 사용됩니다. 또한 반도체 산업에서는 실리콘 웨이퍼에 붕소를 도입하여 전기적 특성을 향상시키는 도핑제로 사용됩니다. 뿐만 아니라, 열적 및 화학적 안정성이 뛰어난 질화붕소 박막을 증착하는 화학 기상 증착(CVD) 공정에서도 시약으로 사용됩니다. 그러나 반응성이 매우 높기 때문에 실험실에서는 BCl₃를 취급할 때 각별한 주의가 필요합니다.