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Bortrichlorid BCl3-Gas

Verfahren :

Bortrichlorid (BCl₃) ist eine farblose, rauchende Flüssigkeit oder ein Gas. Es ist nicht brennbar, reizt den Geruch und hat einen säuerlichen Charakter. Bortrichlorid (BCl₃) ist ein Gas mit niedrigem Dampfdruck. Das Molekül findet in einer Vielzahl von Anwendungen Verwendung, beispielsweise als Trocknungsgas beim Ätzen von Aluminiumleitungen in der Halbleiter- und LCD-Fertigung. Bortrichlorid ist ein verflüssigtes Gas, das sich in Wasser in Chlorwasserstoff und Borsäure zersetzt. Es ist die Hauptgaskomponente beim Ätzen von High-k- und metallanisotropen Plasmaen, beim Atomlagenätzen und beim gepulsten Plasmaätzen. BCl₃-Gas wird außerdem hauptsächlich zum Feinätzen von Aluminiumschaltungen im Herstellungsprozess von Flüssigkristallpanels eingesetzt.

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Überblick

Verpackung & Versand

Produktdetails

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Produktparameter

Produkt	Bortrichlorid
CAS-Nr.	10294-34-5
UN-Nr.	1741
EINECS-Nr.	233-658-4
Molekulargewicht	117,19
Aussehen	farblose, rauchende Flüssigkeit oder Gas mit stechendem und saurem Geschmack
Schmelzpunkt	-107,3℃
Siedepunkt	12,5℃
Dichte	1,35 kg/m³
DOT-Klasse	2.3 & 8
Etikett	Giftgas, Ätzende Stoffe

Produktspezifikation

Produkt	Bortrichlorid BCl3
Verpackungsgröße	47-Liter-Zylinder
Füllinhalt/Zylinder	50 kg
In einen 20-Fuß-Container verladene Menge	240 Zylinder
Gesamtvolumen	12 Tonnen
Zylinder-Taragewicht	55 kg
Ventil	DISS-634/CGA 660

Anwendungsprogramm

Bortrichlorid (BCl₃) ist eine vielseitige chemische Verbindung, die in verschiedenen industriellen Prozessen eingesetzt wird. Es dient häufig als Katalysator in organischen Synthesereaktionen, insbesondere zur Herstellung von Kunststoffen und Harzen. In der Halbleiterindustrie wird BCl₃ als Dotierungsmittel verwendet, um Bor in Siliziumwafer einzubringen und so deren elektrische Eigenschaften zu verbessern. Darüber hinaus wird BCl₃ als Reagenz in der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) zur Abscheidung dünner Bornitridschichten eingesetzt, einem Material mit hoher thermischer und chemischer Stabilität. Aufgrund seiner hohen Reaktivität muss BCl₃ jedoch im Labor mit großer Sorgfalt und Vorsicht gehandhabt werden.

Bortrichlorid ist ein wichtiger Katalysator

Bortrichlorid kann in der Galvanotechnik verwendet werden.

Bortrichlorid kann zur Holzschutzbehandlung verwendet werden.

Bortrichlorid kann als Reinigungsmittel verwendet werden.

Bortrichlorid kann zur Herstellung anderer anorganischer Verbindungen verwendet werden.

Bortrichlorid kann zur Herstellung einiger pharmazeutischer Produkte verwendet werden.

Verpackung & Versand

Produkt:	Bortrichlorid
Verpackungsgröße	10-Liter-Zylinder	47-Liter-Zylinder
Füllnettogewicht/Zylinder:	10 kg	50 kg
Reinheit	5N, 5,5N, 6N
Ventil:	CGA660/DISS634