製品

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  • 三塩化ホウ素 BCl3 ガス
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三塩化ホウ素 BCl3 ガス

プロセス :

三塩化ホウ素(BCl3)は無色の発煙性の液体または気体です。不燃性で、刺激性があり、酸性の臭いがあります。三塩化ホウ素(BCl3)は蒸気圧の低い気体です。この分子は、半導体や液晶パネル製造におけるアルミニウム配線用の乾燥エッチングガスなど、幅広い用途に使用できます。三塩化ホウ素は、水中で塩化水素とホウ酸に分解する液化ガスです。高誘電率および金属異方性プラズマエッチング、原子層エッチング、パルスプラズマエッチングの主成分ガスです。BCl3ガスは、液晶パネル製造工程におけるアルミニウム回路の微細エッチングにも主に使用されます。

概要

梱包と発送

製品詳細

関連製品

製品パラメータ

製品

三塩化ホウ素

CAS番号

10294-34-5

国連番号

1741

EINECS No.

233-658-4

分子量

117.19

外観

刺激臭と酸味のある無色の発煙性液体またはガス

融点

-107.3℃

沸点

12.5℃

密度

1.35 kg/m³

DOTクラス

2.3 & 8

ラベル

有毒ガス、腐食性物質

製品仕様

製品 三塩化ホウ素 BCl3
パッケージサイズ 47リットルシリンダー
充填量/シリンダー 50kg
20フィートコンテナに積載された数量 240気筒
総容量 12トン
シリンダーの風袋重量 55kg
バルブ DISS-634/CGA 660

アプリケーションプログラム

三塩化ホウ素(BCl3)は、様々な工業プロセスで使用される汎用性の高い化合物です。有機合成反応、特にプラスチックや樹脂の製造において触媒として広く用いられています。また、半導体産業では、シリコンウェハにホウ素を導入することで電気特性を向上させるドーピング剤としても使用されています。さらに、BCl3は、熱的・化学的に高い安定性を持つ窒化ホウ素の薄膜を成膜するための化学気相成長法(CVD)における試薬としても用いられています。しかし、BCl3は反応性が非常に高いため、実験室での取り扱いには細心の注意が必要です。
三塩化ホウ素は重要な触媒である。

三塩化ホウ素は重要な触媒である。

三塩化ホウ素は電気めっきに使用できる

三塩化ホウ素は電気めっきに使用できる

三塩化ホウ素は木材防腐処理に使用できる。

三塩化ホウ素は木材防腐処理に使用できる。

三塩化ホウ素は洗浄剤として使用できる。

三塩化ホウ素は洗浄剤として使用できる。

三塩化ホウ素は他の無機化合物の調製に使用できる。

三塩化ホウ素は他の無機化合物の調製に使用できる。

三塩化ホウ素は、一部の医薬品の製造に使用できる。

三塩化ホウ素は、一部の医薬品の製造に使用できる。

梱包と発送

製品:

三塩化ホウ素

パッケージサイズ

10リットルシリンダー

47Lシリンダー

充填正味重量/シリンダー:

10kg

50kg

純度

5N、5.5N、6N

バルブ:

CGA660/DISS634

利点

製品詳細

bcl3

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