製品
当社は特殊ガス、希ガス、エキシマレーザーガスなど、100種類以上の製品を取り扱っています。
アプリケーションプログラム
ヘキサフルオロエタン（C2F6）は、主に半導体産業において、シリコンウェハーの洗浄およびエッチング用のプラズマエッチング剤として使用されています。また、無毒性かつ不燃性であることから、冷却システムの冷媒や消火剤としても使用されています。しかしながら、C2F6は地球温暖化係数の高い強力な温室効果ガスであり、大気中に放出されると気候変動に大きく寄与する可能性があります。そのため、C2F6の取り扱いと廃棄には十分な注意を払い、温室効果ガスの排出量を削減するために可能な限り代替物質を使用することが重要です。
ヘキサフルオロエタンは滅菌に使用できる。
消火システムにおける消火剤としてのヘキサフルオロエタン
ヘキサフルオロエタンは、ガスクロマトグラフィー分析におけるキャリアガスとして使用できる。
ヘキサフルオロエタンは、電子機器業界で洗浄剤として使用されている。
ヘキサフルオロエタンは冷媒として使用できる。
ヘキサフルオロエタンは、拡散ポンプの作動流体として使用できる。
梱包と発送
| 製品： | 三塩化ホウ素 | |
| パッケージサイズ | 10リットルシリンダー | 47Lシリンダー |
| 充填正味重量/シリンダー： | 6kg | 32kg |
| 純度 | 5N | |
| バルブ： | CGA660/CGA580 | |
製品詳細
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