Tricloruro de boro BCL3 GAS

El tricloruro de boro (BCl3) es un líquido o gas incoloro y humeante. No es inflamable, pero tiene un olor ácido e irritante. El tricloruro de boro (BCl3) es un gas de baja presión de vapor. Esta molécula se utiliza en una amplia gama de aplicaciones, como el secado de gases de grabado empleados para el cableado de aluminio en la fabricación de semiconductores y pantallas LCD. El tricloruro de boro es un gas licuado que se descompone en agua en cloruro de hidrógeno y ácido bórico. Es el principal componente gaseoso en el grabado por plasma anisotrópico de alta constante dieléctrica (high-K) y metal, el grabado por deposición de capas atómicas y el grabado por plasma pulsado. El gas BCl3 también se utiliza principalmente para el grabado fino de circuitos de aluminio en el proceso de fabricación de paneles de cristal líquido.