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| 다른 이름: | 아르곤 불화물 레이저 가스(193nm); 크립톤 불화물 레이저 가스(248nm); (308nm) 제논 염화물 레이저 가스 |
| 제품 유형: | ArF, KrF, XeCl, 5%F2/He, Kr/Ne, F2/Kr/Ne, Ar/Ne, F2/Ar/Ne |
| 유엔 번호: | UN1956 |
| 실린더 부피: | 11L, 16L, 20L, 49L, 50L |
| 밸브 유형: | CGA679, DIN 8, DIN 14 |







| 품특브랜드 | 机형형 | 波 长 파장 | 기체 가스 |
| 애틀랜타 | ATL ARF-1 | 193nm | F2,Ar,Xe,Ne |
| ATL KRF-1 | 248nm | F2,Kr,Xe,Ne | |
| 투이 | CTFTS-ARFV 2.2 | 193nm | F2,Ar,He,Ne |
| CTFTS-KRFV 2.1 | 248nm | F2,Kr,He,Ne | |
| CTFTS-KRFV 2.2 | 248nm | F2,Kr,He,Xe,Ne | |
| CTMD-ARFV 2.0 | 193nm | F2,Ar,He,O2,Ne | |
| CTMD-XECLV 2.1 | 308nm | HCl, H2, Xe, Ne | |
| CTMN-ARFV 2.0 | 193nm | F2,Ar,He,Ne | |
| CTMN-ARFV 2.1 | 193nm | F2,Ar,He,Ne | |
| CTMN-KRFV 1.0 | 248nm | F2,Kr,He,Ne | |
| CTMN-KRFV 2.0 | 248nm | F2,Kr,He,Ne | |
| CTMN-XECLV 2.0 | 308nm | HCl, H2, Xe, Ne | |
| CTMN-XECLV 5.0 | 308nm | HCl, H2, Xe, Ne | |
| CTMN-XEFV 1.1 | 450nm~520nm | F2,Xe,He,Ne | |
| CTMN-XEFV 1.2 | 450nm~520nm | F2,Xe,He,Ne | |
| GAM 레이저 | EX5 ArF | 193nm | F2,Ar,He,O2,Ne |
| EX5 크르프 | 248nm | F2,Kr,He,Ne | |
| EX5 XeCl | 308nm | HCl, H2, Xe, Ne | |
| EX10 | 193nm | F2,Ar,He,Ne | |
| EX50 | 193nm | F2,Ar,He,Ne | |
| EX100 | 193nm | F2,Ar,He,Ne | |
| 포토메덱스 | XeCl | 308nm | HCl,Xe,Ne |
| 포토스크라이브 | 아르프 | 193nm | F2,Ar,Ne |
| 크르프 | 248nm | F2,Kr,Ne | |
| 포토맥포토닉스 | 아르프 | 193nm | F2,Ar,Ne |
| 크르프 | 248nm | F2,Kr,Ne | |
| 스펙트라네틱스 | XeCl | 308nm | HCl, H2, Xe, Ne |
| 다른 이름: | 아르곤 불화물 레이저 가스(193nm); 크립톤 불화물 레이저 가스(248nm); (308nm) 제논 염화물 레이저 가스 | |
| 제품 유형: | ArF, KrF, XeCl, 5%F2/He, Kr/Ne, F2/Kr/Ne, Ar/Ne, F2/Ar/Ne | |
| 유엔 번호: | UN1956 | |
| 실린더 부피: | 11L, 16L, 20L, 49L, 50L | |
| 밸브 유형: | CGA679, DIN 8, DIN 14 | |
| 고출력 엑시머 레이저 가스 | ||
| 사용 가능한 파장 | 193nm | 아르프 |
| 248nm | 크르프 | |
| 308nm | XeCl | |
| 450nm~520nm | 제에프 | |
| 최대 자외선 출력 | 540와트 | |
| 최대 자외선 에너지 | 1100mj | |
| 반복 빈도 | 가변, 1~600Hz | |
| 펄스 안정성 | 0.5%~1%, rms | |
| 장기적인 표류 | 0.1%~0.5%, rms | |
| 빔 분포 | 균일한, 평평한 상단 | |
| 펄스 폭 | 10~20나노초 | |
| 상대적 가스 순도 | F2, 99.9% | |
| 아르곤, 99.9999% | ||
| 그는 99.9999%입니다. | ||
| Ne, 99.9999% | ||
| HCl, 전자 | ||
| 크르, 99.999% | ||
| Xe, 99.999% | ||
| 산소, 99.999% | ||
| H2, 99.999% | ||
| 가스 작동 온도 | -40°C ~ +74°C | |
| 가스 압력 | 520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar | |
| 실린더 사양 | 10L, 16L, 20L, 50L | |
| 밸브 인터페이스 | CGA 679, CGA 330, CGA 580, DIN 6, DIN 8, DIN 14 | |
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