Το τριφθοριούχο άζωτο (NF3) είναι η ανόργανη ένωση με τον τύπο NF3. Αυτή η ένωση αζώτου-φθορίου είναι ένα άχρωμο, άοσμο, μη εύφλεκτο αέριο. Χρησιμοποιείται ολοένα και περισσότερο ως χαρακτικό στη μικροηλεκτρονική. Το τριφθοριούχο άζωτο (NF3) έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως στη βιομηχανία ηλεκτρονικών, ημιαγωγών και ηλιακής φωτοηλεκτρικής βιομηχανίας κ.λπ. Είναι ένα αέριο καλής χάραξης και καθαρισμού με πλεονεκτήματα την έλλειψη υπολειμμάτων, την υψηλή ταχύτητα καθαρισμού και την εύκολη αποσύνθεση.
Το τριφθοριούχο άζωτο, ή NF3, είναι ένα άχρωμο, άοσμο αέριο που έχει διάφορες βιομηχανικές εφαρμογές. Χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών ως καθαριστικό για εργαλεία εναπόθεσης και θαλάμους χάραξης. Χρησιμοποιείται επίσης στην παραγωγή επίπεδων οθονών, ηλιακών συλλεκτών και άλλων ηλεκτρονικών ειδών. Ωστόσο, το NF3 είναι ένα ισχυρό αέριο θερμοκηπίου με υψηλό δυναμικό υπερθέρμανσης του πλανήτη, πράγμα που σημαίνει ότι μπορεί να συμβάλει σημαντικά στην κλιματική αλλαγή εάν απελευθερωθεί στην ατμόσφαιρα. Ως εκ τούτου, καταβάλλονται προσπάθειες για τη μείωση της χρήσης του και την εξεύρεση εναλλακτικών, πιο φιλικών προς το περιβάλλον ουσιών για αυτές τις εφαρμογές.
Το τριφθοριούχο άζωτο χρησιμοποιείται ως χαρακτικό για ημιαγωγικές συσκευές στη βιομηχανία ηλεκτρονικών ειδών.
Το τριφθοριούχο άζωτο μπορεί να χρησιμοποιηθεί για αποστείρωση
Το τριφθοριούχο άζωτο μπορεί να χρησιμοποιηθεί στην κατασκευή ηλεκτρονικών συσκευών στη διαδικασία εναπόθεσης ατμών (CVD).
Το τριφθοριούχο άζωτο είναι ένα ισχυρό οξειδωτικό μέσο
Το τριφθοριούχο άζωτο μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως ενδιάμεσο για οργανικές ενώσεις σύνθεσης.
Το τριφθοριούχο άζωτο μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την κατασκευή υλικών επικάλυψης