Trifluorure d'azote NF3 gazeux

Le trifluorure d'azote (NF3) est un gaz incolore et inodore qui possède de nombreuses applications industrielles. Il est principalement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs comme agent de nettoyage pour les outils de dépôt et les chambres de gravure. Il sert également à la production d'écrans plats, de panneaux solaires et d'autres composants électroniques. Cependant, le NF3 est un puissant gaz à effet de serre à fort potentiel de réchauffement climatique, ce qui signifie qu'il peut contribuer de manière significative au changement climatique s'il est rejeté dans l'atmosphère. C'est pourquoi des efforts sont déployés pour réduire son utilisation et trouver des substances alternatives plus respectueuses de l'environnement pour ces applications.