Газ октафторциклобутана C4F8

Октафторциклобутан, или C4F8, — это бесцветный газ без запаха, имеющий множество промышленных применений. В полупроводниковой промышленности он широко используется в качестве агента плазменного травления для очистки и травления кремниевых пластин. Он также используется в качестве хладагента в системах охлаждения и в качестве огнетушащего вещества благодаря своим нетоксичным и негорючим свойствам. Однако C4F8 является мощным парниковым газом с высоким потенциалом глобального потепления, что означает, что его выброс в атмосферу может внести значительный вклад в изменение климата. В связи с этим предпринимаются усилия по сокращению его использования и поиску альтернативных, более экологически чистых веществ для этих применений.