fluoruro di argon(ArF) è una miscela di gas eccimeri ampiamente utilizzata nei laser eccimeri a ultravioletti profondi. Il termine "eccimero" si riferisce allo stato di dimero eccitato che si forma temporaneamente tra un gas nobile inerte e un componente alogeno reattivo. Alcune proprietà chiave:
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Composizione – Tipicamente contiene lo 0,1% di F2 e il 99,9% di argon, bilanciato da un gas tampone.
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Reazione – La scarica elettrica eccita gli atomi di argon che reagiscono con le molecole di fluoro.
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Stato di eccitazione – IlArF* Lo stato di eccimero decade rapidamente separando gli atomi di Ar e F.
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Lunghezza d'onda – Questo processo di rilassamento emette fotoni con una lunghezza d'onda di 193 nm.
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Uscita pulsata – I laser a eccimeri producono fasci UV pulsati con elevata potenza di picco.
La reazione unica tra argon e fluoro facilita la generazione di impulsi laser ad alta energia e a lunghezza d'onda corta, ideali per la microlavorazione e la fotolitografia.
Data di pubblicazione: 2 novembre 2023