fluoruro di argon(ArF) è una miscela di gas eccimeri ampiamente utilizzata nei laser eccimeri nell'ultravioletto profondo. Il termine "eccimero" si riferisce allo stato di dimero eccitato che si forma temporaneamente tra un gas nobile inerte e un componente alogeno reattivo. Alcune proprietà chiave:
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Composizione – Tipicamente contiene lo 0,1% di F2 e il 99,9% di argon, bilanciato da un gas tampone.
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Reazione – La scarica elettrica eccita gli atomi di argon che reagiscono con le molecole di fluoro.
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Stato di eccitazione – IlArF* Lo stato di eccimero decade rapidamente separando gli atomi di Ar e F.
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Lunghezza d'onda – Questo processo di rilassamento emette fotoni con una lunghezza d'onda di 193 nm.
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Uscita pulsata – I laser a eccimeri producono fasci UV pulsati con elevata potenza di picco.
La reazione unica tra argon e fluoro facilita la generazione di impulsi laser ad alta energia e a lunghezza d'onda corta, ideali per la microlavorazione e la fotolitografia.
Data di pubblicazione: 2 novembre 2023