Φθοριούχο αργόνΤο (ArF) είναι ένα μείγμα αερίων excimer που χρησιμοποιείται ευρέως σε λέιζερ excimer βαθιάς υπεριώδους ακτινοβολίας. Ο όρος «excimer» αναφέρεται στην διεγερμένη διμερή κατάσταση που σχηματίζεται προσωρινά μεταξύ ενός αδρανούς ευγενούς αερίου και ενός δραστικού αλογόνου συστατικού. Ορισμένες βασικές ιδιότητες:
-
Σύνθεση – Συνήθως περιέχει 0,1% F2 και 99,9% αργό, εξισορροπημένο από ένα ρυθμιστικό αέριο.
-
Αντίδραση – Η ηλεκτρική εκκένωση διεγείρει άτομα αργού τα οποία αντιδρούν με μόρια φθορίου.
-
Ενθουσιασμένη κατάσταση – ΗΆρΦ* Η κατάσταση του διεγερμένου μερούς διασπάται γρήγορα για να διαχωρίσει τα άτομα Ar και F.
-
Μήκος κύματος – Αυτή η διαδικασία χαλάρωσης εκπέμπει φωτόνια με μήκος κύματος 193 nm.
-
Παλμική έξοδος – Τα λέιζερ Excimer παράγουν παλμικές δέσμες UV με υψηλή μέγιστη ισχύ.
Η μοναδική αντίδραση αργού και φθορίου διευκολύνει τους παλμούς λέιζερ υψηλής ενέργειας μικρού μήκους κύματος, ιδανικούς για μικροκατεργασία και φωτολιθογραφία.
Ώρα δημοσίευσης: 02 Νοεμβρίου 2023