Fluoreto de argônioO ArF é uma mistura de gases excímeros amplamente utilizada em lasers excímeros ultravioleta profundos. O termo "excímero" refere-se ao estado dímero excitado formado temporariamente entre um gás nobre inerte e um componente halogênio reativo. Algumas propriedades importantes:
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Composição – Normalmente contém 0,1% de F2 e 99,9% de argônio, com o restante balanceado por um gás tampão.
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Reação – A descarga elétrica excita os átomos de argônio, que reagem com as moléculas de flúor.
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Estado de excitação – OArF* O estado excimer decai rapidamente, separando os átomos de Ar e F.
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Comprimento de onda – Este processo de relaxamento emite fótons com comprimento de onda de 193 nm.
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Saída pulsada – Os lasers de excímero produzem feixes UV pulsados com alta potência de pico.
A reação singular entre o argônio e o flúor possibilita a geração de pulsos de laser de alta energia e comprimento de onda curto, ideais para micromecanização e fotolitografia.
Data da publicação: 02/11/2023