Fluorură de argon(ArF) este un amestec de gaze excimerice utilizat pe scară largă în laserele excimerice ultraviolete profunde. Termenul „excimer” se referă la starea dimerică excitată formată temporar între un gaz nobil inert și o componentă halogenată reactivă. Câteva proprietăți cheie:
-
Compoziție – De obicei, conține 0,1% F2 și 99,9% argon, echilibrate de un gaz tampon.
-
Reacție – Descărcarea electrică excită atomii de argon care reacționează cu moleculele de fluor.
-
Stare excitată – TheArFStarea de excimer se dezintegrează rapid pentru a separa atomii de Ar și F.
-
Lungimea de undă – Acest proces de relaxare emite fotoni cu o lungime de undă de 193 nm.
-
Ieșire pulsată – Laserele excimere produc fascicule UV pulsate cu putere de vârf mare.
Reacția unică dintre argon și fluor facilitează impulsurile laser de înaltă energie și lungime de undă scurtă, ideale pentru microprelucrare și fotolitografie.
Data publicării: 02 noiembrie 2023