아르곤 플루오라이드 엑시머 레이저의 작동 원리

레이저 작용아르곤 플루오라이드엑시머 레이저는 다음 과정을 통해 발생합니다.

• 전기 방전이 Ar/F2 가스 혼합물을 통과하면서 Ar+ 이온과 전자가 생성됩니다.

• 가속된 전자가 아르곤 원자와 충돌하여 아르곤 원자를 들뜨게 합니다.

• 들뜬 아르곤 원자(Ar*)는 불소 분자와 반응하여 다음을 형성합니다.엑시머 ArF* 흥분된 상태.

• 엑시머 상태는 193nm 광자를 방출하면서 자발적으로 결합되지 않은 아르곤 및 플루오린 원자로 되돌아갑니다.

• 두 개의 거울이 광학 공동을 형성하여 유도 방출과 레이저 발진을 일으킵니다.

• 이는 추가적인 엑시머 형성과 붕괴를 촉진하여 193nm 파장의 광자를 동일한 위상으로 더 많이 방출합니다.

• 광선은 부분 반사 출력 거울을 통해 나옵니다.

• 펌핑은 레이저 발진이 지속되는 데 필요한 전자 밀도와 여기 상태를 유지합니다.

일시적인 엑시머 상태는 기존 레이저 전이보다 훨씬 낮은 온도에서 효율적인 자외선 발생을 가능하게 합니다.