كيف تعمل ليزرات الإكسيمر المصنوعة من فلوريد الأرجون

تأثير الليزر فيفلوريد الأرجونيتم إنتاج ليزرات الإكسيمر من خلال العملية التالية:

• يمر التفريغ الكهربائي عبر خليط غاز Ar/F2، مما يؤدي إلى تكوين أيونات Ar+ وإلكترونات.

• تصطدم الإلكترونات المتسارعة بذرات الأرجون وتثيرها.

• تتفاعل ذرات الأرجون المثارة Ar* مع جزيئات الفلور لتكوينإكسيمر ArF* في حالة إثارة.

• تتحلل حالة الإكسيمر تلقائيًا إلى ذرات الأرجون والفلور غير المرتبطة، مما يؤدي إلى انبعاث فوتون بطول موجي 193 نانومتر.

• تشكل مرآتان تجويفًا بصريًا يتسبب في انبعاث محفز وتذبذب الليزر.

• وهذا يحفز تكوين وتحلل المزيد من الإكسيمر، مما يؤدي إلى إطلاق المزيد من الفوتونات ذات الطول الموجي 193 نانومتر في نفس الطور.

• يخرج الشعاع من خلال مرآة الإخراج العاكسة جزئياً.

• يحافظ الضخ على كثافة الإلكترونات والإثارة اللازمة لاستمرار عمل الليزر.

تتيح حالة الإكسيمر العابرة توليد الأشعة فوق البنفسجية بكفاءة عالية عند درجات حرارة أقل بكثير من انتقالات الليزر التقليدية.