Funktionsweise von Argonfluorid-Excimerlasern

Die Laserwirkung inArgonfluoridExcimerlaser entstehen durch folgenden Prozess:

• Durch die Ar/F2-Gasmischung wird eine elektrische Entladung durchgeführt, wodurch Ar+-Ionen und Elektronen entstehen.

• Beschleunigte Elektronen kollidieren mit Argonatomen und regen diese an.

• Angeregte Argonatome Ar* reagieren mit Fluormolekülen zu …Excimer ArF* in einem aufgeregten Zustand.

• Der Excimerzustand zerfällt spontan zurück in ungebundene Argon- und Fluoratome und emittiert dabei ein Photon mit einer Wellenlänge von 193 nm.

• Zwei Spiegel bilden einen optischen Resonator, der stimulierte Emission und Laseroszillation bewirkt.

• Dies stimuliert die weitere Bildung und den Zerfall von Excimeren, wodurch mehr phasengleiche Photonen mit einer Wellenlänge von 193 nm freigesetzt werden.

• Der Strahl tritt durch den teilreflektierenden Auskoppelspiegel aus.

• Durch das Pumpen werden die für den fortgesetzten Laserbetrieb notwendige Elektronendichte und Anregung aufrechterhalten.

Der transiente Excimerenzustand ermöglicht eine effiziente UV-Erzeugung weit unterhalb der herkömmlichen Laserübergänge.