Argon Florür Eksimer Lazerleri Nasıl Çalışır?

Lazerleme eylemiargon florürEksimer lazerler aşağıdaki süreç sonucunda ortaya çıkar:

• Elektrik deşarjı, Ar/F2 gaz karışımından geçerek Ar+ iyonları ve elektronlar oluşturur.

• Hızlandırılmış elektronlar argon atomlarıyla çarpışarak onları uyarır.

• Uyarılmış argon atomları Ar*, flor molekülleriyle reaksiyona girerek şunları oluşturur:eksimer ArF* heyecanlı bir halde.

• Eksimer durumu, kendiliğinden serbest argon ve flor atomlarına geri bozunarak 193 nm'lik bir foton yayar.

• İki ayna, uyarılmış emisyon ve lazer salınımına neden olan bir optik boşluk oluşturur.

• Bu durum, daha fazla eksimer oluşumunu ve bozunmasını uyararak, aynı fazda daha fazla 193 nm foton salınımına yol açar.

• Işın, kısmen yansıtıcı çıkış aynasından dışarı çıkar.

• Pompalama işlemi, sürekli lazerleme eylemi için gerekli olan elektron yoğunluğunu ve uyarımı korur.

Geçici eksimer durumu, geleneksel lazer geçişlerinin çok altında verimli UV üretimine olanak tanır.