L'azione laser influoruro di argonI laser a eccimeri si formano attraverso il seguente processo:
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La scarica elettrica attraversa la miscela di gas Ar/F2, creando ioni Ar+ ed elettroni.
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Gli elettroni accelerati collidono con gli atomi di argon e li eccitano.
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Gli atomi di argon eccitati Ar* reagiscono con le molecole di fluoro per formare ileccimero ArF* in uno stato di eccitazione.
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Lo stato di eccimero decade spontaneamente in atomi di argon e fluoro non legati, emettendo un fotone a 193 nm.
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Due specchi formano una cavità ottica che provoca emissione stimolata e oscillazione laser.
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Ciò stimola un'ulteriore formazione e decadimento degli eccimeri, rilasciando più fotoni a 193 nm in fase.
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Il fascio esce attraverso lo specchio di uscita parzialmente riflettente.
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Il pompaggio mantiene la densità elettronica e l'eccitazione necessarie per un'azione laser continua.
Lo stato transitorio dell'eccimero consente un'efficiente generazione di raggi UV ben al di sotto delle transizioni laser convenzionali.
Data di pubblicazione: 2 novembre 2023