Comment fonctionnent les lasers excimères à fluorure d'argon ?

L'action laser dansfluorure d'argonLes lasers excimères sont obtenus par le processus suivant :

• Une décharge électrique traverse le mélange gazeux Ar/F2, créant des ions Ar+ et des électrons.

• Les électrons accélérés entrent en collision avec les atomes d'argon et les excitent.

• Les atomes d'argon excités Ar* réagissent avec les molécules de fluor pour former leexcimère ArF* dans un état d'excitation.

• L'état excimère se désintègre spontanément pour revenir à des atomes d'argon et de fluor non liés, en émettant un photon de 193 nm.

• Deux miroirs forment une cavité optique provoquant une émission stimulée et une oscillation laser.

• Cela stimule la formation et la désintégration d'excimères supplémentaires, libérant ainsi davantage de photons de 193 nm en phase.

• Le faisceau sort par le miroir de sortie partiellement réfléchissant.

• Le pompage maintient la densité électronique et l'excitation nécessaires au maintien de l'émission laser.

L'état excimère transitoire permet une génération UV efficace bien en dessous des transitions laser conventionnelles.