Πώς λειτουργούν τα λέιζερ Excimer με φθοριούχο αργό

Η έντονη δράση στοφθοριούχο αργόνΤα λέιζερ excimer προκύπτουν μέσω της ακόλουθης διαδικασίας:

• Ηλεκτρική εκκένωση διέρχεται από το μείγμα αερίων Ar/F2, δημιουργώντας ιόντα και ηλεκτρόνια Ar+.

• Τα επιταχυνόμενα ηλεκτρόνια συγκρούονται με άτομα αργού και διεγείρουν.

• Τα διεγερμένα άτομα αργού Ar* αντιδρούν με μόρια φθορίου για να σχηματίσουν τοδιεγερτής ArF* σε κατάσταση διέγερσης.

• Η κατάσταση excimer διασπάται αυθόρμητα πίσω σε μη συνδεδεμένα άτομα αργού και φθορίου, εκπέμποντας ένα φωτόνιο 193 nm.

• Δύο κάτοπτρα σχηματίζουν μια οπτική κοιλότητα που προκαλεί διεγερμένη εκπομπή και ταλάντωση λέιζερ.

• Αυτό διεγείρει περαιτέρω σχηματισμό και αποσύνθεση excimer, απελευθερώνοντας περισσότερα φωτόνια 193 nm σε φάση.

• Η δέσμη εξέρχεται μέσω του μερικώς ανακλαστικού καθρέφτη εξόδου.

• Η άντληση διατηρεί την πυκνότητα ηλεκτρονίων και τη διέγερση που απαιτούνται για τη συνεχή δράση του λέιζερ.

Η παροδική κατάσταση excimer επιτρέπει την αποτελεσματική παραγωγή υπεριώδους ακτινοβολίας πολύ κάτω από τις συμβατικές μεταβάσεις λέιζερ.