Nguyên lý hoạt động của laser excimer argon florua

Hoạt động phát tia laser trongargon floruaLaser excimer được tạo ra thông qua quá trình sau:

• Sự phóng điện đi qua hỗn hợp khí Ar/F2, tạo ra các ion Ar+ và electron.

• Các electron được gia tốc va chạm và kích thích các nguyên tử argon.

• Các nguyên tử argon Ar* ở trạng thái kích thích phản ứng với các phân tử flo để tạo thànhexcimer ArF* trong trạng thái kích động.

• Trạng thái excimer tự phân rã trở lại thành các nguyên tử argon và flo không liên kết, phát ra photon có bước sóng 193 nm.

• Hai gương tạo thành một khoang quang học gây ra hiện tượng phát xạ kích thích và dao động laser.

• Điều này kích thích sự hình thành và phân rã excimer hơn nữa, giải phóng thêm nhiều photon 193 nm cùng pha.

• Chùm tia thoát ra ngoài qua gương phản xạ một phần ở đầu ra.

• Việc bơm điện giúp duy trì mật độ electron và sự kích thích cần thiết cho hoạt động phát laser liên tục.

Trạng thái excimer tạm thời cho phép tạo ra tia cực tím hiệu quả ở mức thấp hơn nhiều so với các quá trình chuyển đổi laser thông thường.