نحوه عملکرد لیزرهای اگزایمر آرگون فلوراید

عمل لیزر درآرگون فلورایدلیزرهای اگزایمر از طریق فرآیند زیر ایجاد می‌شوند:

• تخلیه الکتریکی از مخلوط گاز Ar/F2 عبور می‌کند و یون‌ها و الکترون‌های Ar+ ایجاد می‌کند.

• الکترون‌های شتاب‌دار با اتم‌های آرگون برخورد کرده و آنها را برانگیخته می‌کنند.

• اتم‌های آرگون برانگیخته Ar* با مولکول‌های فلوئور واکنش می‌دهند تا ...اگزایمر ArF* در حالت هیجان زده.

• حالت اگزایمر به طور خودبه‌خود به اتم‌های آرگون و فلوئور آزاد واپاشی می‌کند و یک فوتون ۱۹۳ نانومتری ساطع می‌کند.

• دو آینه یک کاواک نوری تشکیل می‌دهند که باعث گسیل القایی و نوسان لیزر می‌شود.

• این امر باعث تشکیل و واپاشی بیشتر اگزایمر می‌شود و فوتون‌های ۱۹۳ نانومتری بیشتری را در فاز آزاد می‌کند.

• پرتو از طریق آینه خروجی نیمه بازتابنده خارج می‌شود.

• پمپاژ، چگالی الکترون و برانگیختگی مورد نیاز برای ادامه‌ی عمل لیزر را حفظ می‌کند.

حالت گذرای اگزایمر، تولید کارآمد فرابنفش را بسیار پایین‌تر از گذارهای لیزر مرسوم امکان‌پذیر می‌کند.