La acción láser enfluoruro de argónLos láseres de excímeros se obtienen mediante el siguiente proceso:
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La descarga eléctrica atraviesa la mezcla de gases Ar/F2, creando iones Ar+ y electrones.
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Los electrones acelerados chocan con los átomos de argón y los excitan.
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Los átomos de argón excitados Ar* reaccionan con moléculas de flúor para formar elexcímero ArF* en estado de excitación.
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El estado excímero se desintegra espontáneamente, volviendo a átomos de argón y flúor no ligados, emitiendo un fotón de 193 nm.
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Dos espejos forman una cavidad óptica que provoca emisión estimulada y oscilación láser.
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Esto estimula una mayor formación y desintegración de excímeros, liberando más fotones de 193 nm en fase.
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El haz sale a través del espejo de salida parcialmente reflectante.
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El bombeo mantiene la densidad electrónica y la excitación necesarias para que la acción láser continúe.
El estado de excímero transitorio permite una generación eficiente de luz ultravioleta muy por debajo de las transiciones láser convencionales.
Fecha de publicación: 2 de noviembre de 2023