Acțiunea laser înfluorură de argonLaserele cu excimeri apar prin următorul proces:
-
Descărcarea electrică trece prin amestecul de gaz Ar/F2, creând ioni de Ar+ și electroni.
-
Electronii accelerați se ciocnesc cu atomii de argon și îi excită.
-
Atomii de argon excitați Ar* reacționează cu moleculele de fluor pentru a formaexcimer ArF* într-o stare excitată.
-
Starea de excimer se dezintegrează spontan înapoi în atomi de argon și fluor nelegați, emițând un foton de 193 nm.
-
Două oglinzi formează o cavitate optică provocând emisie stimulată și oscilație laser.
-
Acest lucru stimulează formarea și descompunerea suplimentară a excimerilor, eliberând mai mulți fotoni de 193 nm în fază.
-
Fasciculul iese prin oglinda de ieșire parțial reflectorizantă.
-
Pomparea menține densitatea electronilor și excitația necesare pentru acțiunea laser continuă.
Starea excimerică tranzitorie permite generarea eficientă de UV mult sub tranzițiile laser convenționale.
Data publicării: 02 noiembrie 2023