Como funcionam os lasers de excímero de fluoreto de argônio

A ação laser emfluoreto de argônioOs lasers de excímero surgem através do seguinte processo:

• A descarga elétrica passa pela mistura gasosa de Ar/F2, criando íons Ar+ e elétrons.

• Elétrons acelerados colidem com átomos de argônio e os excitam.

• Átomos de argônio excitados (Ar*) reagem com moléculas de flúor para formar oexcímero ArF* em estado de excitação.

• O estado excimer decai espontaneamente de volta a átomos de argônio e flúor não ligados, emitindo um fóton de 193 nm.

• Dois espelhos formam uma cavidade óptica que causa emissão estimulada e oscilação do laser.

• Isso estimula a formação e o decaimento de mais excímeros, liberando mais fótons de 193 nm em fase.

• O feixe de luz sai através do espelho de saída parcialmente refletor.

• O bombeamento mantém a densidade eletrônica e a excitação necessárias para a emissão contínua do laser.

O estado excimer transitório permite a geração eficiente de UV bem abaixo das transições de laser convencionais.