Как работают эксимерные лазеры на основе фторида аргона

Лазерное излучение вфторид аргонаЭксимерные лазеры создаются в результате следующего процесса:

• Электрический разряд проходит через газовую смесь Ar/F2, создавая ионы Ar+ и электроны.

• Ускоренные электроны сталкиваются с атомами аргона и возбуждают их.

• Возбужденные атомы аргона Ar* реагируют с молекулами фтора, образуя...эксимер ArF* в возбужденном состоянии.

• Эксимерное состояние спонтанно распадается обратно на несвязанные атомы аргона и фтора, испуская фотон с длиной волны 193 нм.

• Два зеркала образуют оптический резонатор, вызывающий стимулированное излучение и лазерную генерацию.

• Это стимулирует дальнейшее образование и распад эксимеров, высвобождая больше фотонов с длиной волны 193 нм в одной фазе.

• Луч выходит через частично отражающее выходное зеркало.

• Накачка поддерживает плотность электронов и возбуждение, необходимые для непрерывной работы лазера.

Переходное эксимерное состояние обеспечивает эффективную генерацию УФ-излучения со скоростью, значительно меньшей, чем у обычных лазерных переходов.