대규모 가스 공급 시스템은 주로 8~12인치(1인치 = 25.4mm) 초대형 집적 회로(LSI) 대량 생산 공장(가스 종류: SiH4, N2O, SiCl4, C2F6, NH3 등), 100MW 이상 규모의 태양 전지 생산 라인(가스 종류: NH3 포함), 에피택셜 발광 다이오드(LED) 공정 라인(가스 종류: NH3 포함), 5세대 이상 액정 디스플레이(LCD) 공장(가스 종류: SiH4, N2O, N2O, C2F6, NH3 등), 광섬유(SiCl4 등), 실리콘 소재 에피택셜 생산 라인(HCl 등) 및 기타 산업 분야에 사용됩니다.HCL이러한 산업들은 막대한 투자 규모를 가지고 있으며, 최첨단 공정 장비를 채택하고, 가스 수요가 높으며, 안정적이고 중단 없는 공급, 순도 관리 및 안전한 생산에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족해야 합니다.
상기 공장들의 주요 공통 가스는 대부분 현장 가스 생산(On-site) 또는 산업단지 파이프라인(Pipeline)을 통해 중앙 집중식으로 공급됩니다. 연간 생산능력 5만 웨이퍼 규모의 8인치 초대형 집적회로 공장의 고순도 질소 수요는 5,000Nm³/h 이상이며, 발광다이오드 에피택셜 및 실리콘 에피택셜 생산 라인의 수소 수요는 100Nm³/h 이상입니다.
일반 실린더(50L 이하)에 포장된 특수 가스 외에도 Y형 실린더(450L), T형 실린더(980L), 컨테이너(940L), ISO 탱크(22,500L), 어뢰형 운반차(13,400L) 등 대형 용기에 포장되어 대량으로 공급되는 다양한 종류의 특수 가스가 있습니다.
대부분특수 가스BSGS 공급 시스템은 컬러 터치스크린이 장착된 완전 자동 PLC 컨트롤러를 채택하고 있으며, 가스 패널에는 자동 전환, 자동 질소 퍼지, 자동 진공 보조 배출을 위한 공압 밸브와 압력 센서가 내장되어 있습니다. 또한 누출 감지, 원격 비상 차단 등 다양한 안전 보호 장치와 특수 질소 퍼지 공급원 등을 갖추고 있습니다. 특수 가스는 독립적인 가스 공급원을 사용하며, 다용도 지점에는 VMB 또는 VMP 분할 공급 방식을 채택하고, VMB 또는 VMP에는 분기 회로 공압 밸브, 질소 블로잉, 진공 보조 배출 등의 기능을 적용합니다. BSGS의 가스 공급원 총량이 많기 때문에 대부분 독립적인 가스실과 독립적인 공기 배출 시스템을 사용합니다.
게시 시간: 2024년 2월 22일