Das großflächige Gasversorgungssystem dient hauptsächlich der Massenproduktion von 8-12 Zoll (1 Zoll = 25,4 mm) großen, ultra-integrierten Schaltkreisen (ULSCs) (Gastypen: SiH4, N2O, 2, C2F6, NH3 usw.), Solarzellen-Produktionslinien mit über 100 MW Leistung (Gastyp: NH3), Epitaxie-LED-Prozesslinien (Gastyp: NH3), LCD-Fabriken der 5. Generation (Gastypen: 4, 3, nF3), Glasfasern (Gastyp: SiCl4), Silizium-Epitaxie-Produktionslinien (Gastyp: HCl) und anderen Branchen.HCL) und anderen Branchen. Sie verfügen über enorme Investitionsvolumina, setzen modernste Prozessanlagen ein, haben einen hohen Gasbedarf und stellen höchste Anforderungen an eine stabile und ununterbrochene Versorgung, Reinheitskontrolle und sichere Produktion.
Die in den genannten Fabriken benötigten Standardgase werden größtenteils zentral über die werkseigene Gaserzeugung (On-Site) oder über Pipelines im Industriepark (Pipeline) bereitgestellt. Der Bedarf einer Fabrik für 8-Zoll-ULSC-Wafer mit einer Jahreskapazität von 50.000 Wafern an hochreinem Stickstoff beträgt über 5.000 Nm³/h, der Wasserstoffbedarf der Produktionslinie für LED- und Siliziumepitaxie über 100 Nm³/h.
Neben Spezialgasen, die in normalen Zylindern (50 l oder weniger) verpackt sind, gibt es viele andere Arten von Spezialgasen, die üblicherweise in großen Behältern verpackt werden, die als Bulk-Spezialgase bezeichnet werden, darunter Y-Zylinder (450 l), T-Zylinder (980 l), Container (940 l), ISO-Tanks (22.500 l) und Torpedowagen (13.400 l), um nur einige zu nennen.
SchüttgutSpezialgasDas Versorgungssystem (BSGS) ist mit einer vollautomatischen SPS-Steuerung und einem Farb-Touchscreen ausgestattet. Das Gaspanel verfügt über ein pneumatisches Ventil und einen Drucksensor für automatisches Umschalten, automatische Stickstoffspülung und automatische vakuumunterstützte Entlüftung. Mehrere Sicherheitsvorkehrungen, Leckageerkennung und eine ferngesteuerte Notabschaltung sind integriert. Spezielle Stickstoffspülquellen sind ebenfalls vorhanden. Spezialgase werden über eine separate Gasquelle versorgt. Mehrere Verbrauchsstellen nutzen eine VMB- oder VMP-Verteilung. VMB oder VMP verwenden ein Abzweigventil, Stickstoffzufuhr und vakuumunterstützte Entleerung. Aufgrund der großen Gesamtmenge an benötigtem Gas im BSGS werden größtenteils separate Gaskammern und separate Luftabsaugsysteme eingesetzt.
Veröffentlichungsdatum: 22. Februar 2024