Le système d'alimentation en gaz à grande échelle est principalement destiné à la production en série de circuits intégrés ultra-larges de 8 à 12 pouces (1 pouce = 25,4 mm) dans une usine (les gaz utilisés incluent SiH4, N2O, 2, C2F6, NH3, etc.), à des lignes de production de cellules solaires de plus de 100 MW (les gaz utilisés incluent NH3), à une ligne de traitement de diodes électroluminescentes épitaxiales (les gaz utilisés incluent NH3), à une usine d'écrans à cristaux liquides de plus de 5 générations (les gaz utilisés incluent 4, 3, NF3), à la fibre optique (les gaz utilisés incluent SiCl4), à une ligne de production épitaxiale de matériaux en silicium (les gaz utilisés incluent HCl), et à d'autres industries.HCL) et d'autres industries. Elles nécessitent des investissements considérables, utilisent les équipements de traitement les plus avancés, ont une forte demande en gaz et sont soumises aux exigences les plus strictes en matière d'approvisionnement stable et ininterrompu, de contrôle de la pureté et de production sûre.
Les gaz courants utilisés en grande quantité dans les usines mentionnées ci-dessus sont principalement fournis par des centrales de production de gaz sur site ou par des canalisations de parcs industriels. La demande en azote de haute pureté d'une usine de circuits intégrés à très grande échelle de 8 pouces, d'une capacité de production annuelle de 50 000 plaquettes, dépasse 5 000 Nm³/h, tandis que la demande en hydrogène d'une ligne de production de diodes électroluminescentes et de silicium épitaxié dépasse 100 Nm³/h.
En plus des gaz spéciaux conditionnés dans des bouteilles ordinaires (50 L ou moins), il existe de nombreux autres types de gaz spéciaux qui sont couramment conditionnés dans de grands conteneurs, appelés gaz spéciaux en vrac, notamment les bouteilles en Y (450 L), les bouteilles en T (980 L), les conteneurs (940 L), les réservoirs ISO (22 500 L) et les wagons-torpilles (13 400 L), entre autres.
En grosGaz spéciauxLe système d'alimentation en gaz (BSGS) est entièrement automatisé grâce à un automate programmable (PLC) doté d'un écran tactile couleur. Le panneau de distribution de gaz comprend une vanne pneumatique et un capteur de pression pour la commutation automatique, la purge automatique à l'azote et la mise à l'air libre sous vide. Il intègre de multiples dispositifs de sécurité, la détection des fuites, la coupure d'urgence à distance et des sources de purge à l'azote spécifiques. Les gaz spéciaux sont alimentés par des sources indépendantes. Les points d'utilisation multiples sont alimentés par des systèmes VMB ou VMP à alimentation séparée. Ces systèmes VMB ou VMP sont équipés d'une vanne pneumatique à circuit de dérivation, d'un système de soufflage d'azote et d'une vidange sous vide. Compte tenu du volume important de gaz distribués par le BSGS, la plupart des installations disposent d'une salle de gaz indépendante et d'un système d'extraction d'air indépendant.
Date de publication : 22 février 2024