ما هو نظام إمداد الغاز واسع النطاق؟

يُستخدم نظام إمداد الغاز واسع النطاق بشكل أساسي في الإنتاج الضخم لمصانع الدوائر المتكاملة فائقة الكبر (8-12 بوصة، 1 بوصة = 25.4 مم) (تشمل أنواع الغازات SiH4، N2O، 2، C2F6، NH3، إلخ)، وخطوط إنتاج الخلايا الشمسية بقدرة تزيد عن 100 ميجاوات (تشمل أنواع الغازات NH3)، وخطوط معالجة الثنائيات الباعثة للضوء (تشمل أنواع الغازات NH3)، ومصانع شاشات الكريستال السائل (تشمل أنواع الغازات 4، 3، nf3)، والألياف الضوئية (تشمل أنواع الغازات SiCl4)، وخطوط إنتاج مواد السيليكون الرقيقة (تشمل أنواع الغازات HCL)، وغيرها من الصناعات.هيدروكلوريد(وغيرها من الصناعات). تتمتع هذه الصناعات بحجم استثمار ضخم، وتعتمد أحدث معدات المعالجة، ولديها طلب مرتفع على الغاز، وتفرض أكثر المتطلبات صرامة فيما يتعلق بالإمداد المستقر والمتواصل، والتحكم في النقاء، والإنتاج الآمن.

تُزوَّد معظم الغازات المشتركة الرئيسية للمصانع المذكورة أعلاه مركزياً عبر إنتاج الغاز في الموقع (في الموقع) أو عبر خطوط أنابيب المجمع الصناعي (خط الأنابيب). ويتجاوز الطلب على النيتروجين عالي النقاء في مصنع الدوائر المتكاملة فائقة الكبر بحجم 8 بوصات، والذي تبلغ طاقته الإنتاجية السنوية 50,000 رقاقة، 5,000 متر مكعب قياسي في الساعة، بينما يتجاوز الطلب على الهيدروجين في خط إنتاج ثنائيات باعثة للضوء (LED) وطبقة السيليكون الرقيقة (Sioptaxial) 100 متر مكعب قياسي في الساعة.

بالإضافة إلى الغازات المتخصصة المعبأة في أسطوانات عادية (50 لترًا أو أقل)، هناك العديد من أنواع الغازات المتخصصة الأخرى التي يتم تعبئتها بشكل شائع في حاويات كبيرة، والتي يشار إليها باسم الغازات المتخصصة السائبة، بما في ذلك أسطوانات Y (450 لترًا)، وأسطوانات T (980 لترًا)، والحاويات (940 لترًا)، وخزانات ISO (22500 لترًا)، وعربات التوربيد (13400 لترًا)، من بين أمور أخرى.

حجم كبيرالغازات المتخصصةيعتمد نظام التزويد (BSGS) على وحدة تحكم PLC أوتوماتيكية بالكامل مزودة بشاشة لمس ملونة؛ ولوحة غاز مزودة بصمام هوائي ومستشعر ضغط للتبديل التلقائي، والتنظيف التلقائي بالنيتروجين، والتهوية التلقائية بمساعدة الفراغ؛ بالإضافة إلى العديد من إجراءات الحماية الأمنية، وكشف التسرب، وإيقاف الطوارئ عن بُعد؛ ومصادر خاصة لتنظيف النيتروجين، وما إلى ذلك. يعتمد الغاز الخاص على مصدر غاز مستقل، بينما تعتمد نقطة الاستخدام المتعددة على نظام تزويد VMB أو VMP، حيث يعتمد نظام VMB أو VMP على صمام هوائي ذي دائرة فرعية، ونفخ النيتروجين، والتفريغ بمساعدة الفراغ، وما إلى ذلك. ونظرًا لكبر حجم مصدر الغاز في نظام BSGS، فإنه يعتمد في الغالب على غرفة غاز مستقلة ونظام سحب هواء مستقل.