سیستم تأمین گاز در مقیاس بزرگ عمدتاً برای تولید انبوه در مقیاس بزرگ کارخانه مدارهای مجتمع فوق بزرگ در مقیاس 8-12 اینچ (1 اینچ = 25.4 میلیمتر) (انواع گاز شامل SiH4، N2O، 2، C2F6، NH3 و غیره)، بیش از 100 مگاوات خطوط تولید سلول خورشیدی (انواع گاز شامل NH3)، خط فرآیند دیود ساطع کننده نور اپیتاکسیال (انواع گاز شامل NH3)، بیش از 5 نسل کارخانه نمایشگر کریستال مایع (انواع گاز شامل 4، 3، nf3)، فیبر نوری (انواع گاز شامل SiCl4)، خط تولید اپیتاکسیال مواد سیلیکونی (انواع گاز شامل HCL) و سایر صنایع است. کارخانه نمایشگر (نوع گاز شامل 4، 3، nf3)، فیبر نوری (نوع گاز شامل SiCl4)، خط تولید اپیتاکسیال مواد سیلیکونی (نوع گاز شاملهیدروکلراید) و سایر صنایع. آنها مقیاس سرمایهگذاری عظیمی دارند، از پیشرفتهترین تجهیزات فرآیندی استفاده میکنند، تقاضای گاز بالایی دارند و سختگیرانهترین الزامات را برای تأمین پایدار و بدون وقفه، کنترل خلوص و تولید ایمن دارند.
گازهای رایج عمده کارخانههای فوق عمدتاً به صورت متمرکز توسط تولید گاز در محل (On-site) یا خطوط لوله شهرک صنعتی (Pipeline) تأمین میشوند. تقاضای یک کارخانه مدار مجتمع فوق بزرگ ۸ اینچی با ظرفیت تولید سالانه ۵۰،۰۰۰ ویفر برای نیتروژن با خلوص بالا بیش از ۵۰۰۰ نیوتن متر مکعب در ساعت و تقاضای خط تولید اپیتاکسیال دیود ساطع کننده نور و اپیتاکسیال سیلیکون برای هیدروژن بیش از ۱۰۰ نیوتن متر مکعب در ساعت است.
علاوه بر گازهای ویژه بستهبندیشده در سیلندرهای معمولی (50 لیتر یا کمتر)، انواع دیگری از گازهای ویژه وجود دارند که معمولاً در ظروف بزرگ بستهبندی میشوند و به آنها گازهای ویژه فلهای گفته میشود، از جمله سیلندرهای Y (450 لیتر)، سیلندرهای T (980 لیتر)، کانتینر (940 لیتر)، مخازن ISO (22500 لیتر) و واگنهای اژدر (13400 لیتر) و موارد دیگر.
فلهگاز تخصصیسیستم تأمین (BSGS) از کنترلر PLC کاملاً اتوماتیک با صفحه نمایش لمسی رنگی؛ پنل گاز با شیر پنوماتیک و سنسور فشار برای سوئیچینگ خودکار، تخلیه خودکار نیتروژن، تهویه خودکار با کمک خلاء؛ اقدامات حفاظتی ایمنی چندگانه، تشخیص نشتی، قطع اضطراری از راه دور؛ مبادی ویژه تخلیه نیتروژن و غیره استفاده میکند. گاز ویژه از منبع گاز مستقل استفاده میکند، نقطه چند منظوره از منبع تقسیم VMB یا VMP استفاده میکند، VMB یا VMP از شیر پنوماتیک مدار شاخهای، دمیدن نیتروژن، تخلیه با کمک خلاء و غیره استفاده میکند. از آنجا که مقدار کل منبع گاز BSGS زیاد است، بیشتر از اتاق گاز مستقل و سیستم استخراج هوای مستقل استفاده میکند.
زمان ارسال: ۲۲ فوریه ۲۰۲۴