Το μεγάλης κλίμακας σύστημα τροφοδοσίας αερίου προορίζεται κυρίως για τη μαζική παραγωγή μεγάλης κλίμακας εργοστασίων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων εξαιρετικά μεγάλης κλίμακας 8-12 ιντσών (1 ίντσα = 25,4 mm) (οι τύποι αερίου περιλαμβάνουν SiH4, N2O, 2, C2F6, NH3, κ.λπ.), περισσότερων από 100 MW γραμμών παραγωγής ηλιακών κυψελών (οι τύποι αερίου περιλαμβάνουν NH3), γραμμής διεργασίας επιταξιακών διόδων εκπομπής φωτός (οι τύποι αερίου περιλαμβάνουν NH3), περισσότερων από 5 γενεών εργοστασίων οθονών υγρών κρυστάλλων (οι τύποι αερίου περιλαμβάνουν 4, 3, nf3), οπτικών ινών (οι τύποι αερίου περιλαμβάνουν SiCl4), γραμμής παραγωγής επιταξιακών υλικών πυριτίου (οι τύποι αερίου περιλαμβάνουν HCL) και άλλων βιομηχανιών. εργοστάσιο οθονών (ο τύπος αερίου περιλαμβάνει 4, 3, nf3), οπτικών ινών (ο τύπος αερίου περιλαμβάνει SiCl4), γραμμής παραγωγής επιταξιακών υλικών πυριτίου (ο τύπος αερίου περιλαμβάνειHCL) και άλλες βιομηχανίες. Έχουν τεράστια επενδυτική κλίμακα, υιοθετούν τον πιο προηγμένο εξοπλισμό διεργασιών, έχουν υψηλή ζήτηση φυσικού αερίου και έχουν τις πιο αυστηρές απαιτήσεις για σταθερό και αδιάλειπτο εφοδιασμό, έλεγχο καθαρότητας και ασφαλή παραγωγή.
Τα χύδην κοινά αέρια των παραπάνω εργοστασίων παρέχονται ως επί το πλείστον κεντρικά μέσω επιτόπιας παραγωγής αερίου (On-site) ή αγωγών βιομηχανικών πάρκων (Pipeline). Η ζήτηση για άζωτο υψηλής καθαρότητας ενός εργοστασίου ολοκληρωμένων κυκλωμάτων εξαιρετικά μεγάλης κλίμακας 8 ιντσών με ετήσια παραγωγική δυναμικότητα 50.000 πλακιδίων είναι μεγαλύτερη από 5.000 Nm3/h, και η ζήτηση για υδρογόνο της γραμμής παραγωγής επιταξιακών διόδων εκπομπής φωτός και επιταξιακών πυριτίου είναι μεγαλύτερη από 100 Nm3/h.
Εκτός από τα ειδικά αέρια που συσκευάζονται σε συνήθεις φιάλες (50L ή λιγότερο), υπάρχουν πολλοί άλλοι τύποι ειδικών αερίων που συνήθως συσκευάζονται σε μεγάλα δοχεία, τα οποία αναφέρονται ως χύμα ειδικά αέρια, όπως οι κύλινδροι Y (450L), οι κύλινδροι T (980L), τα δοχεία (940L), οι δεξαμενές ISO (22.500L) και τα βαγόνια τορπιλών (13.400L), μεταξύ άλλων.
ΟγκοςΕιδικό αέριοΤο Σύστημα Παροχής (BSGS) υιοθετεί πλήρως αυτόματο ελεγκτή PLC με έγχρωμη οθόνη αφής. Πίνακα αερίου με πνευματική βαλβίδα και αισθητήρα πίεσης για αυτόματη εναλλαγή, αυτόματη εκκένωση αζώτου, αυτόματη εξαέρωση με υποβοήθηση κενού. πολλαπλά μέτρα προστασίας ασφαλείας, ανίχνευση διαρροών, απομακρυσμένη διακοπή έκτακτης ανάγκης. ειδικές πηγές εκκένωσης αζώτου και ούτω καθεξής. Το ειδικό αέριο υιοθετεί ανεξάρτητη πηγή αερίου, το σημείο πολλαπλών χρήσεων υιοθετεί διαιρεμένη τροφοδοσία VMB ή VMP, το VMB ή το VMP υιοθετεί πνευματική βαλβίδα κυκλώματος διακλάδωσης, εμφύσηση αζώτου, εκκένωση με υποβοήθηση κενού και ούτω καθεξής. Λόγω της συνολικής ποσότητας της πηγής αερίου BSGS, η οποία είναι μεγάλη, υιοθετεί ως επί το πλείστον ανεξάρτητο δωμάτιο αερίου και ανεξάρτητο σύστημα εξαγωγής αέρα.
Ώρα δημοσίευσης: 22 Φεβρουαρίου 2024