Крупномасштабная система подачи газа предназначена в основном для крупномасштабного массового производства сверхбольших интегральных схем размером 8-12 дюймов (1 дюйм = 25,4 мм) на заводе (типы газов включают SiH4, N2O, 2, C2F6, NH3 и др.), линий по производству солнечных элементов мощностью более 100 МВт (типы газов включают NH3), линий по производству эпитаксиальных светодиодов (типы газов включают NH3), заводов по производству жидкокристаллических дисплеев более 5 поколений (типы газов включают 4, 3, NF3), оптических волокон (типы газов включают SiCl4), линий по производству эпитаксиальных кремниевых материалов (типы газов включают HCl) и других отраслей промышленности.HCL) и других отраслях. Они обладают огромными масштабами инвестиций, используют самое современное технологическое оборудование, имеют высокий спрос на газ и предъявляют самые строгие требования к стабильным и бесперебойным поставкам, контролю чистоты и безопасному производству.
Основные объемы общих газов на вышеуказанных заводах поставляются централизованно из собственных газодобывающих предприятий (на месте) или трубопроводов промышленных парков (по трубопроводам). Потребность в высокочистом азоте на заводе по производству сверхбольших 8-дюймовых интегральных схем с годовой производительностью 50 000 пластин составляет более 5000 Нм³/ч, а потребность в водороде на линии эпитаксиального производства светодиодов и кремниевых микросхем — более 100 Нм³/ч.
Помимо специальных газов, расфасованных в обычные баллоны (50 л или меньше), существует множество других типов специальных газов, которые обычно расфасовываются в большие контейнеры, называемые специальными газами навалом, включая Y-образные баллоны (450 л), T-образные баллоны (980 л), контейнеры (940 л), ISO-резервуары (22 500 л) и контейнеры-цистерны (13 400 л) и другие.
МассаСпециальный газСистема подачи газа (BSGS) использует полностью автоматический ПЛК-контроллер с цветным сенсорным экраном; газовую панель с пневматическим клапаном и датчиком давления для автоматического переключения, автоматическую продувку азотом, автоматическую вакуумную стравливание; множество мер безопасности, обнаружение утечек, дистанционное аварийное отключение; специальные источники продувки азотом и т. д. Для специальных газов используются независимые источники газа, для многоцелевых точек используется раздельное питание VMB или VMP, VMB или VMP используют пневматический клапан с ответвленным контуром, продувку азотом, вакуумное опорожнение и т. д. В связи с большим общим количеством источников газа в системе BSGS, в основном используются независимые газовые камеры и независимые системы вытяжки воздуха.
Дата публикации: 22 февраля 2024 г.