Büyük ölçekli gaz tedarik sistemi, esas olarak 8-12 inç (1 inç = 25,4 mm) ultra büyük ölçekli entegre devre fabrikalarının (gaz türleri arasında SiH4, N2O, 2, C2F6, NH3 vb. bulunur), 100 MW'tan fazla güneş pili üretim hatlarının (gaz türleri arasında NH3 bulunur), epitaksiyel ışık yayan diyot işlem hatlarının (gaz türleri arasında NH3 bulunur), 5'ten fazla nesil sıvı kristal ekran fabrikalarının (gaz türleri arasında 4, 3, nf3 bulunur), optik fiberlerin (gaz türleri arasında SiCl4 bulunur), silikon malzeme epitaksiyel üretim hatlarının (gaz türleri arasında HCl bulunur) ve diğer endüstrilerin büyük ölçekli seri üretimi için kullanılmaktadır.HCl) ve diğer sektörler. Çok büyük yatırım ölçeklerine sahipler, en gelişmiş proses ekipmanlarını kullanıyorlar, yüksek gaz talepleri var ve istikrarlı ve kesintisiz tedarik, saflık kontrolü ve güvenli üretim için en katı gereksinimlere sahipler.
Yukarıda bahsedilen fabrikaların temel gazlarının büyük kısmı, tesis içi gaz üretimi (Tesis İçi) veya endüstriyel park boru hatları (Boru Hattı) aracılığıyla merkezi olarak sağlanmaktadır. Yıllık 50.000 wafer üretim kapasitesine sahip 8 inçlik ultra büyük ölçekli entegre devre fabrikasının yüksek saflıkta nitrojen ihtiyacı 5.000 Nm³/saatten fazla, ışık yayan diyot epitaksiyel ve silikon epitaksiyel üretim hattının hidrojen ihtiyacı ise 100 Nm³/saatten fazladır.
Normal silindirlerde (50 litre veya daha az) paketlenmiş özel gazlara ek olarak, genellikle büyük kaplarda paketlenmiş birçok başka özel gaz türü de vardır; bunlar arasında Y silindirleri (450 litre), T silindirleri (980 litre), konteyner (940 litre), ISO tankları (22.500 litre) ve torpido vagonları (13.400 litre) gibi büyük kaplar bulunur ve bunlara toplu özel gazlar denir.
TopluÖzel GazBSGS (Bölgesel Gaz Besleme Sistemi), renkli dokunmatik ekranlı tam otomatik PLC kontrol ünitesi; otomatik anahtarlama, otomatik azot tahliyesi, otomatik vakum destekli havalandırma için pnömatik valf ve basınç sensörlü gaz paneli; çoklu güvenlik koruma önlemleri, sızıntı tespiti, uzaktan acil durum kapatma; özel azot tahliye kaynakları vb. özelliklere sahiptir. Özel gazlar bağımsız gaz kaynağı kullanır, çok amaçlı noktalar VMB veya VMP bölünmüş besleme kullanır, VMB veya VMP ise branş devre pnömatik valfi, azot üfleme, vakum destekli boşaltma vb. özelliklere sahiptir. BSGS gaz kaynağının toplam miktarı büyük olduğundan, çoğunlukla bağımsız gaz odası ve bağımsız hava tahliye sistemi kullanılır.
Yayın tarihi: 22 Şubat 2024