大規模ガス供給システムとは何か

大規模ガス供給システムは、主に8〜12インチ（1インチ＝25.4mm）超大規模集積回路工場（ガスの種類にはSiH4、N2O、2、C2F6、NH3など）、100MWを超える太陽電池生産ライン（ガスの種類にはNH3など）、エピタキシャル発光ダイオードプロセスライン（ガスの種類にはNH3など）、5世代を超える液晶ディスプレイ工場（ガスの種類には4、3、nf3など）、光ファイバー（ガスの種類にはSiCl4など）、シリコン材料エピタキシャル生産ライン（ガスの種類にはHCLなど）、その他の産業向けです。ディスプレイ工場（ガスの種類には4、3、nf3など）、光ファイバー（ガスの種類にはSiCl4など）、シリコン材料エピタキシャル生産ライン（ガスの種類には塩酸）やその他の産業。これらの産業は莫大な投資規模を持ち、最先端のプロセス設備を採用し、ガス需要が高く、安定かつ途切れることのない供給、純度管理、安全な生産に対して最も厳しい要求を課しています。

上記工場の主要ガスは、主にオンサイトガス生産（オンサイト）または工業団地パイプライン（パイプライン）によって集中供給されています。年間生産能力5万枚の8インチ超大型集積回路工場の高純度窒素需要は5,000Nm3/h以上、発光ダイオードエピタキシャルおよびシリコンエピタキシャル生産ラインの水素需要は100Nm3/h以上です。

通常のシリンダー（50L以下）に充填された特殊ガスに加えて、Yシリンダー（450L）、Tシリンダー（980L）、コンテナ（940L）、ISOタンク（22,500L）、魚雷型タンク（13,400L）など、大型容器に充填される特殊ガスも数多く存在し、これらはバルク特殊ガスと呼ばれています。

バルク特殊ガス供給システム（BSGS）は、カラータッチスクリーンを備えた全自動PLCコントローラを採用しています。ガスパネルには、自動切り替え、自動窒素パージ、自動真空補助排気のための空気圧バルブと圧力センサーが備わっています。複数の安全保護対策、漏洩検知、遠隔緊急遮断、特殊窒素パージ源などを備えています。特殊ガスは独立したガス源を採用し、多目的ポイントはVMBまたはVMP分割供給を採用し、VMBまたはVMPは分岐回路空気圧バルブ、窒素吹き込み、真空補助排気などを採用しています。BSGSガス源の総量は大きいため、ほとんどの場合、独立したガス室、独立した空気抽出システムを採用しています。